暗電流測定機
概 要
本装置は、暗BOX内部にて数種類の電圧を印加させそれぞれの暗電流値を測定・評価する装置です。
ホットプレートを搭載しているため高温測定も可能です
特 徴
- ワークの専用治具を交換する事により、多品種の測定が可能
- 画像処理にてコンタクト位置を測定しているため
自動でコンタクト可能 - マニプレータが個別動作のため、段取り替えは必要ありません
- 画像処理にて、受光素子の位置判定も行えます
- 搭載可能カセット数
専用カセット ６ヶ（LD側：３ヶ／ULD側：３ヶ - 搭載可能ワーク
最大□1.5ｍｍまでのワークを搭載できます。
（その他、サイズも検討可能です。）
製品情報
- 自動ねじ締め・ねじ外し装置
- 暗電流測定機
- チップ外観検査装置
- モジュール組立機
- 厚さ測定機（レーザセンサ／エアーセンサ）
- ランプアニール装置（高速熱処理装置）
- 超音波メタルボンディング装置（セミオート）
- スピンコータ
- パワーモジュール信頼性評価試験装置
- レーザースクライバ
- セミオートプローバ
- 各種ウェハ移載機 （ロボットアーム利用）
- ミクロ/マクロ検査装置
- レーザマーキング装置
- レーザートリミング装置
