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厚さ測定機(レーザセンサ/エアーセンサ)

特 徴
  1. 2種類の厚みセンサを搭載 エアーセンサ、レーザセンサ
  2. 非接触測定によりワークを傷付けません
    厚さ範囲 エアーセンサ φ0.2㎜、レーザセンサ φ60μm
    厚さ限度 エアーセンサ 10㎜、レーザセンサ 2.5㎜
  3. 厚み測定結果の分析が可能
  4. ウェハ厚み/反り測定可能
  5. オリフラ合わせユニットを搭載(1スキャンで実行)
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(推奨ブラウザ:Microsoft Edge)

製品情報