スピンコータ
特 徴
- 2インチ～6インチウェハ用レジスト塗布
- 膜厚 0.8μｍ～1μｍ（参考値）
- スピン回転数 50rpm～6000rpm(任意設定)
- 回転式ベーク炉 50℃～200℃±1%
- 2トラック構成での並列処理
- ダブルアーム搬送ロボット搭載(2機搭載)
- 処理能力 約80枚/h
- その他 カスタマイズ対応可能
製品情報
- 自動ねじ締め・ねじ外し装置
- 暗電流測定機
- チップ外観検査装置
- モジュール組立機
- 厚さ測定機（レーザセンサ／エアーセンサ）
- ランプアニール装置（高速熱処理装置）
- 超音波メタルボンディング装置（セミオート）
- スピンコータ
- パワーモジュール信頼性評価試験装置
- レーザースクライバ
- セミオートプローバ
- 各種ウェハ移載機 （ロボットアーム利用）
- ミクロ/マクロ検査装置
- レーザマーキング装置
- レーザートリミング装置
